ETSB0101 ディスペンスユニット（ベーシックファンクション）
| ヘッド（単体） | |
|---|---|
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| バルブユニット（付属品） | |
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| コントローラ |
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| 項目 | ETSB0101ディスペンスユニット （ベーシックファンクション） |
|---|---|
| セラミックノズル内径（µm） | 25, 40, 70, 100, 150, 200 |
| コントローラ | 付属品 |
| サイドビュー（4倍） | オプション |
| トップビュー | なし |
| サイドビュー用カメラ | オプション |
| サイズ（ヘッド） | W44,5mm×H100mm×D35mm |
| 重量（ヘッド） | 150g |
ETSF0101 ディスペンスユニット（フルファンクション）
| ヘッド（単体） |
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| コントローラ |
|---|
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| 項目 | ETSF0101ディスペンスユニット （フルファンクション） |
|---|---|
| トップビュー（5倍） | 搭載 |
| セラミックノズル内径（µm） | 25, 40, 70, 100, 150, 200 |
| コントローラ | 付属品 |
| レーザー変位計 | オプション |
| サイドビュー（4倍） | オプション |
| トップビュー用カメラ | オプション |
| サイドビュー用カメラ | オプション |
| サイズ（本体 ノズル込み） | W168,5mm×H315mm×D137mm |
| その他（サイドビュー） | 5.0kg |
ESAJシリーズ
| ESAJ0101 | ESAJ1101 |
|---|---|
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| コントローラ |
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| 項目 | ESAJ0101 アライメント機能無し、塗布と観察のみを行なう装置 |
|---|---|
| 搭載可能ディスペンスユニット | ETSB0101 |
| 設定用PC | 付属 |
| ステージサイズ | 最大300mm×300mmまで |
| サイズ | W600mm×D595mm×H660mm |
| ストローク（X-Y-Z) | 300mm×320mm×100mm |
| サイドビュー用カメラ | OP-SVU3-4L-USB（付属） |
| 重さ（本体） | 50kg以下 |
| トップビューカメラ | オフアクシスカメラ（付属） |
| X-Y-θアライメント機能 | なし |
| 高さ補正 | なし |
| 項目 | ESAJ1101 アライメント機能追加マシン（アライメント機能有り） |
|---|---|
| 搭載可能ディスペンスユニット | ETSB0101 |
| 設定用PC | 付属 |
| ステージサイズ | 最大300mm×300mmまで |
| サイズ | W670mm×D605mm×H660mm |
| ストローク（X-Y-Z) | 300mm×320mm×100mm |
| サイドビュー用カメラ | OP-SVU3-4L-USB（付属） |
| 重さ（本体） | 50kg以下 |
| トップビューカメラ | 画像処理機能付オフアクシスカメラ（付属） |
| X-Y-θアライメント機能 | あり |
| 高さ補正 | レーザー変位計 |
ES05, ES10シリーズ
| 項目 | R&D用塗布システム ES05, ES10シリーズ |
|---|---|
| ディスペンスユニット | ETSF0101（フルファンクション） |
| 制御用PC | 付属 |
| ステージサイズ | 150mm×150mm |
| サイズ（本体） | W600mm×D750mm×H850mm |
| ストローク（X-Y-Z） | 50mm×50mm×100mm 100mm×100mm×100mm |
| X-Y-Z-Qアライメント機能 | あり |
重さ（本体） |
100kg以下 |
ES30シリーズ
| 項目 | 試作・量産用 塗布・描画システム |
|---|---|
| 搭載可能ディスペンスユニット | ETSF0101（フルファンクション） |
| 制御用PC | 付属 |
| ステージサイズ | 最大300mm×300mmまで |
| サイズ（本体） | W900mm×D1050mm×H1600mm |
| ストローク（X-Y-Z） | 300mm×300mm×100mm (RDX3000-VH) |
| 塗布データインポート機能 | あり |
| 重さ（本体） | 900kg以下 |
| ローダー、アンローダー オプション | あり |
【オプション】Rユニット液剤充填機
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| Rユニットへ気泡を混入させずに充填することが可能です |
| 項目 | Rユニット液剤充填機 |
|---|---|
| サイズ | W258mm×D206mm×H310mm |
| 重さ | 12kg |
| ユーティリティ | クリーンドライエア、真空、AC100V |
